根据国家安全监管总局《职业卫生技术服务机构工作规范》的要求,现将《北京国联万众半导体科技有限公司第三代半导体核心芯片产业化项目放射性职业病危害控制效果评价报告》相关信息公示如下:
(一)建设单位(用人单位)名称、地理位置及联系人;
建设单位名称:北京国联万众半导体科技有限公司
地理位置:北京市顺义区文良街15号院
联系人:李小飞
(二)项目名称及简介;
项目名称:北京国联万众半导体科技有限公司第三代半导体核心芯片产业化项目。
项目简介:北京国联万众半导体科技有限公司(以下简称“国联万众”)是由中国电子科技集团公司第十三研究所、雷士(北京)光电工程技术有限公司、北京智芯互联半导体科技有限公司、北京首都科技发展集团有限公司、北京顺义科技创新集团有限公司共同出资成立的混合所有制企业,公司定位为第三代半导体材料及应用联合创新基地建设及运营主体单位,承担着服务我国第三代半导体科技发展,构建产业生态系统的重要任务。
根据发展需要,北京国联万众半导体科技有限公司第三代半导体核心芯片产业化项目计划购进工艺设备、仪器442台(套)(含:进口设备223台套)进行平台建设,保障第三代半导体关键工艺技术的研发与创新。在北京市顺义区新建建筑3栋,包括1#综合服务楼、2#生产试验厂房、3#综合配套楼。其中在2#生产实验厂房一层新增2台离子注入机和2台电子束光刻机。
该项目新增的射线装置情况见下表。
表1-1 本项目新增的射线装置
序号 | 装置名称 | 型号 | 设备参数 | 数量 | 射线装 置分类 |
1 | 离子注入机 | CI-S0200ABW06CH-01FF | 离子源产生端:100kV/22mA 离子源加速端:350kV/9mA | 1台 | Ⅲ |
2 | 高温高能离子注入机 | CI-S0380ASW06CM-01FF | 离子源产生端:100kV/22mA 离子源加速端:300kV/6mA | 1台 | Ⅲ |
3 | 电子束光刻机 | Raith EBPG5200 | 电子加速端:100kV/2.3A | 2台 | Ⅲ |
(三)现场调查人员、项目负责人、报告编写及审核人员名单、调查时间,建设单位(用人单位)陪同人;
人员分工 | 姓 名 | 职称 |
项目负责人 | 武钊 | 助理研究员 |
报告书审核人 | 刘占旗 | 研 究 员 |
报告书编写人 | 武钊 | 助理研究员 |
吴庆东 | 工程师 | |
张妍 | 职业卫生中级 | |
现场调查人员 | 武钊 | 助理研究员 |
宜磊 | 助理工程师 | |
建设单位陪同人 | 李小飞 | —— |
现场调查时间 | 2023年5月24日、9月19日 |
(四)建设项目(用人单位)可能存在的放射性职业病危害因素及辐射防护屏蔽分析;
本项目辐射源项为离子注入机和电子束光刻机运行时产生的X射线。辐射危害为该设备运行时产生的X射线经屏蔽体衰减后对现场工作人员造成的外照射危害。
本项目采取的辐射防护措施为:设备状态显示装置、急停按钮、联锁装置等等。
(五)评价结论与建议;
结合《国家卫生健康委办公厅关于公布建设项目职业病危害风险分类管理目录的通知》(国卫办职健发〔2021〕5号)的分类标准,通过对工作场所的放射性职业病危害因素的浓度(强度)、潜在危险性、接触时间、职业病危害防护措施和发生职业病的危(风)险程度等综合分析,本评价报告从放射防护角度考虑,认为本项目属于职业病危害“一般”的建设项目。
(六)技术审查专家组评审意见
2023年08月14日, 京国联万众半导体科技有限公司组织专家组对《北京国联万众半导体科技有限公司第三代半导体核心芯片产业化项目放射性职业病危害控制效果评价报告》(以下简称《控制效果评价报告》)进行了评审。专家组听取了建设单位关于建设项目有关情况的介绍和评价单位澳门太阳集团网址2007关于《控制效果评价报告》的汇报,查阅了相关文件资料,并经认真讨论质询,形成以下评审意见:
1.《控制效果评价报告》评价范围准确,评价单元划分合理;
2.《控制效果评价报告》对职业病防护设施设计执行情况调查分析全面;
3.《控制效果评价报告》中建设项目概况清晰,对产生职业病危害因素的工作场所、工艺、设备、原辅材料以及劳动定员等情况进行了描述;
4.《控制效果评价报告》对生产工艺、生产环境和劳动过程中存在的职业病危害因素的种类、来源、分布及接触情况进行了分析;
5.《控制效果评价报告》检测符合法规、标准规定;
6.《控制效果评价报告》对职业病防护设施进行了调查分析,职业病防护设施运行正常、有效;
7.《控制效果评价报告》对个人使用的职业病防护用品、建筑卫生学、辅助用室等调查全面;
8《控制效果评价报告》对事故预防和应急措施进行了分析;
9.《控制效果评价报告》提出了控制职业病危害的补充措施和建议;
10.《控制效果评价报告》对建设单位职业卫生管理机构设置、职业卫生管理人员配置、职业卫生管理制度及落实情况进行了分析;
11.《控制效果评价报告》对接害人员职业健康监护情况进行了分析;
12《控制效果评价报告》对正常生产后建设项目职业病防治效果分析正确;
13《控制效果评价报告》评价结论客观、正确。
专家组同意《控制效果评价报告》通过评审,职业病防护设施通过验收,《控制效果评价报告》按照专家意见修改、现场整改,经专家组长签字确认后,存档备查。